제품개요
5등급 티타늄 합금 스퍼터링 타겟(Ti-6Al-4V, UNS R56400)은 고강도-대 중량 비율과 내식성을 요구하는 산업용 PVD 코팅 응용 분야에 균일한 박막 증착을 제공합니다. 진공 유도 용융 및 제어된 열-기계적 처리를 통해 제조된 이 타겟은 조밀하고 균질한 미세 구조를 보장하여 DC 또는 RF 마그네트론 스퍼터링 공정 중에 결절 형성 및 아크 발생을 최소화합니다.
기술 사양
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매개변수 |
사양표준 |
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재료 구성 |
Ti: 밸런스, Al: 5.5%~6.7%, V: 3.5%~4.5%, Fe<= 0.40%, O <= 0.20% |
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청정 |
>= 99.4%(삽입 요소 제외) |
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밀도 |
>= 4.43 g/cm3 (Theoretical density >= 99%) |
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평균 입자 크기 |
< 100 um |
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사용 가능한 모양 |
평면(직사각형, 원형, 세그먼트형), 회전형(원통형) |
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치수 |
길이/직경 최대 3,000mm까지 맞춤 제작- |
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백킹 플레이트 |
무산소-구리(OFC), 알루미늄 6061 |
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결합 방법 |
인듐 결합, 엘라스토머 결합, 확산 결합 |
주요 특징
미세한 균질 미세구조:등축 입자 구조는 국부적인 변칙적 침식을 방지하고 고전력 임펄스 마그네트론 스퍼터링(HIPIMS) 중에 입자 방출을 줄입니다.-
고밀도:내부 다공성을 최소화하기 위해 소결 및 단조되어 가스 포착 및 진공 챔버 오염을 제거합니다.
강력한 백킹 플레이트 통합: Ultrasonic scanning guarantees >최적의 열 전도성을 위해 Ti-6Al-4V 타일과 구리/알루미늄 백킹 플레이트 사이의=95% 접착 범위.
정확한 치수 제어:수정 없이 OEM 음극 어셈블리에 맞도록 엄격한 기계적 공차(+/- 0.05 mm ~ +/- 0.1 mm)로 가공되었습니다.
응용
생체의학 임플란트:정형외과 및 치과용 장치에 사용되는 내마모성 생체 적합성 얇은 필름입니다.{0}}
항공우주 및 방위:터빈 블레이드 및 구조용 패스너에 대한 부식 방지{0}}방지 코팅입니다.
장식용 하드웨어:소비재 및 자동차 트림에 내구성과 긁힘 방지{0}}색상 하드 코팅(TiN/TiCN/TiAlN 다층 시스템)을 적용합니다.
R&D 및 박막{0}}필름 연구:합금 상 연구 및 반도체 박막 테스트를 위한 실험실{0}}규모의 증착입니다.
맞춤화 및 제조
생산에는 진공 유도 용해(VIM), 진공 아크 재용해(VAR), 열간 단조 및 사내에 있는 다-축 CNC 가공 시설이-활용됩니다.
맞춤형 기하학:계단형 모서리, 냉각 채널 및 나사형 장착 구멍을 포함하여 고객별로 CAD 도면을 제작했습니다.
대상 프로파일링:특정 마그네트론 구성에서 타겟 수명을 극대화하기 위한 맞춤형 자기 활용 프로필입니다.
프로토타입 제작 및 확장-확대:유연한 배치 예약은 단일 R&D 부분과 대량{0}}생산 실행을 모두 지원합니다.
품질 관리 및 인증
모든 생산 로트는 전용 테스트 장비를 사용하여 엄격한 다단계 검사를 거칩니다.- EN 10204 3.1 규정 준수를 충족하는 재료 테스트 보고서(MTR) 및 대표 로트 데이터 시트를 사전{3}}검증 검토할 수 있습니다[샘플 MTR PDF 다운로드].
화학 성분:유도 결합 플라즈마 질량 분석법(ICP-MS) 및 격자간 가스 분석을 위한 불활성 가스 융합(O, N, H).
미세구조 분석:입자 크기 검증을 위한 광학 현미경 및 전자 후방 산란 회절(EBSD).
내부 무결성:표면 아래의 보이드, 박리 또는 접착되지 않은 영역을 감지하기 위한 초음파 C-스캔 테스트-
치수 정확도:모든 배송에는 CMM(좌표 측정기) 검사 보고서가 제공됩니다.
규정 준수:ISO 9001:2015 품질 관리 시스템에 따라 제조되었습니다.
포장 및 배송
포장:운송 중 표면 산화 및 충격 손상을 방지하기 위해 견고한 목재 수출 상자 내부에 고밀도 폼 쿠션이 있는 -정전기 방지 다층-폴리에틸렌 백에 진공 밀봉되어 있습니다.-
리드타임:표준 치수의 경우 2~3주; 복잡한 맞춤형 형상 또는 접착 어셈블리의 경우 4~5주.
기호 논리학:상자에 충격 및 기울기 표시기가 부착된 항공 또는 해상 화물을 통해 배송됩니다.
FAQ
Q: 고전력 스퍼터링 중에 결절 형성과 아크 발생을 어떻게 방지하나요?-
A: 원자재 용융 공정 제어와 그에 따른 다단계 열-기계 단조로 인해 국부적인 불순물 분리가 제한됩니다. 평균 입자 크기를 100마이크로미터 미만으로 유지하면 전체 대상 표면에 걸쳐 꾸준한 침식 속도가 보장되어 플라즈마 불안정성이 억제됩니다.
Q: 구리 백킹 플레이트에 장착된 타겟의 최대 결합 강도는 얼마입니까?
A: 인듐과 엘라스토머 결합 방법은 10 MPa를 초과하는 전단 강도를 달성합니다. 초음파 C-스캔 검사는 최소 95%의 비접착-자유 표면적을 확인하여 높은 전력 밀도에서 국부적인 과열과 타겟 균열을 방지합니다.
Q: 대면적 건축 코팅 라인을 위한 분할 타겟을-제작할 수 있나요?
답: 그렇습니다. 표준 진공 챔버 치수를 초과하는 평면 타겟은 원활한 플라즈마 연속성을 유지하기 위해 +/- 0.02mm 이내로 유지되는 접합 공차를 갖는 정밀-연동 세그먼트에서 생산됩니다.
Q: 각 배송에는 어떤 문서가 포함되어 있습니까?
답변: 각 배송에는 정확한 화학 성분(간극 요소 포함), 밀도 측정, 초음파 스캔 맵 및 CMM 치수 검사 시트를 자세히 설명하는 다양한{0}}특정 재료 테스트 보고서(MTR)가 포함되어 있습니다.
Q: 맞춤 제작된-원형 또는 평면 타겟의 표준 리드 타임은 얼마나 됩니까?
A: 표준 맞춤 주문은 원자재 준비, 정밀 가공, 접착, 최종 검사 및 상자 포장을 포함하여 3~4주 이내에 배송됩니다. 중요한 라인 가동 중단 상황에는 긴급 실행이 가능합니다.
Q: 귀하의 타겟은 DC 및 RF 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치와 호환됩니까?
답: 그렇습니다. 균일한 전기 전도성과 조밀한 금속 구조는 마이크로-아킹 없이 DC, 펄스 DC 및 RF 전력 모드에서 안정적인 작동을 지원합니다.
견적 요청
대상 치수, 순도 요구 사항, 백킹 플레이트 사양 및 예상 연간 수량을 제공하면 24시간 이내에 기술 도면과 함께 공식 견적을 받을 수 있습니다.
[RFQ 제출 / 엔지니어링팀에 문의]
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