티타늄 타겟이란 무엇입니까?
Ti 타겟은 얇은 티타늄 또는 티타늄{2}} 기반 필름을 기판에 증착하기 위해 PVD 및 스퍼터링 시스템에 사용되는 고순도 티타늄 소재(99.5% Ti 이상)입니다.
고도의 용융, 단조, 정밀가공을 통해 제조되어 고밀도, 미세한 입자구조, 안정적인 스퍼터링 성능을 구현합니다.
우수한 필름 접착성, 내식성 및 코팅 균일성을 제공하기 때문에 반도체 제조, LCD 및 OLED 디스플레이, 메모리 전극, 광학 코팅 및 장식용 PVD 코팅에 일반적으로 사용됩니다.
Ti 타겟의 물리적, 화학적 특성
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재산 |
일반적인 값 |
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밀도 |
4.50 – 4.52g/cm³ |
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녹는점 |
1668 ± 5도 |
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청정 |
99.5% – 99.99% (2N5 – 4N) |
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열팽창 |
8.6 × 10⁻⁶ / K |
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미세구조 및 내부 품질 |
밀도 99.5% 이상 균일한 미세-입자 구조 박리 없음 눈에 보이는 포함물 없음 다공성이나 균열이 없음 |
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포장 |
진공 밀봉 + 건조제 + 충격- 방지 목재 케이스 |
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리드타임 |
대부분의 크기에 대해 2~4주 |
Ti 목표 크기 범위
평면 및 원형 타겟
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유형 |
두께 |
폭 / 직경 |
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직사각형 타겟 |
0.125인치 이상 |
12인치 이하 |
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둥근 표적 |
0.125인치 이상 |
1.0인치 – 21.0인치(25.4 – 533.4mm) |
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튜브 타겟 |
0.125인치 이상 |
12인치 이하 |
표면 거칠기
- 스퍼터링 표면: Ra 1.6μm 이하
- 비-스퍼터링 표면: Ra 3.2 μm 이하
품질 관리 및 검사
- 화학 성분 분석
- 기계적 성질 테스트
- 치수 및 육안 검사
필요한 경우 다음을 받을 수 있습니다.
- 밀 테스트 인증서(MTC)
- 검사 보고서
맞춤형 티타늄 타겟 기능
대상을 완전히 사용자 정의할 수 있습니다.
1. 순도 옵션
99.5%에서 최대 99.999%
2. 크기 및 두께
- 비표준 크기 지원-
- 최소 가공 두께: 1mm
3. 입자 크기 제어
- 열처리로 제어
- 20 – 200 μm 입자 크기 사용 가능
4. 접착 타겟
다음에서 백킹 플레이트를 선택할 수 있습니다.
- 구리(Cu)
- 알루미늄(Al)
- 몰리브덴(Mo)
5. 표면 마무리
선회,연마,세련,샌드블라스팅
6. 복잡한 모양
계단식 목표,세그먼트-결합된 타겟,특수 윤곽
티타늄 타겟 FAQ
티타늄 스퍼터링 타겟을 고온-또는 고전력-스퍼터링에 사용할 수 있나요?
예.
고순도-ti 타겟은 대부분의 고온 스퍼터링에 적합합니다.-
극한의 전력 부하 또는 지속적인 산업 생산의 경우 5등급(Ti-6Al-4V) 타겟은 더 높은 기계적 강도와 열 안정성을 제공합니다.
티타늄 스퍼터링 타겟을 국제적으로 수출할 수 있나요?
예.
항공, 해상 또는 특급(DHL, FedEx, UPS)으로 배송할 수 있습니다.
모든 수출 포장은 -충격 방지, 방습-및 산화 방지-가 이루어집니다.
타겟과 티타늄 PVD 타겟의 차이점은 무엇입니까?
티타늄 PVD 타겟은 특히 고정밀 스퍼터링에 최적화되어{0}}더 나은 증착 효율성과 필름 균일성을 제공합니다. 표준 타겟은 초-고정밀-PVD 시스템에 항상 최적화되어 있지는 않지만 더 다양한 산업용 코팅 응용 분야에 더 적합하고 적합합니다.
생산과정
인기 탭: 티타늄 타겟, 중국 티타늄 타겟 제조업체, 공급업체, 공장